ভ্যাকুয়াম আয়ন লেপ সরঞ্জামের কার্যনির্বাহী নীতি
ভ্যাকুয়াম আয়ন প্লেটিং সরঞ্জাম এমন একটি ডিভাইস যা আয়ন বিমগুলিকে ত্বরান্বিত করতে এবং তাদের কোনও বস্তুর পৃষ্ঠকে আঘাত করতে তৈরি করতে একটি উচ্চ-ভোল্টেজ বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র ব্যবহার করে, যার ফলে একটি পাতলা ফিল্ম গঠন করে। এর কার্যকারী নীতিটি তিনটি ভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে, যথা ভ্যাকুয়াম সিস্টেম, আয়ন উত্স এবং লক্ষ্য।
1। ভ্যাকুয়াম সিস্টেম
ভ্যাকুয়াম হ'ল আয়ন প্লেটিং সরঞ্জামগুলির ক্রিয়াকলাপের প্রাথমিক শর্ত এবং এর প্রতিক্রিয়াটির তিনটি কারণ হ'ল চাপ, তাপমাত্রা এবং স্যাচুরেশন। প্রতিক্রিয়ার যথার্থতা এবং স্থায়িত্ব নিশ্চিত করার জন্য, শূন্যতার প্রয়োজনীয়তা খুব বেশি। অতএব, ভ্যাকুয়াম সিস্টেমটি আয়ন প্লেটিং সরঞ্জামগুলির অন্যতম মূল অংশ।
ভ্যাকুয়াম সিস্টেমটি মূলত চারটি অংশ নিয়ে গঠিত: পাম্পিং সিস্টেম, চাপ সনাক্তকরণ সিস্টেম, গ্যাস ব্যাকআপ সিস্টেম এবং ফুটো প্রতিরোধ ব্যবস্থা। বায়ু নিষ্কাশন সিস্টেমটি ভ্যাকুয়াম অবস্থা অর্জনের জন্য সরঞ্জামগুলিতে গ্যাস বের করতে পারে। তবে এর জন্য একটি জটিল পাইপিং সিস্টেম এবং বিভিন্ন ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলির প্রয়োজন, যান্ত্রিক পাম্প, প্রসারণ পাম্প, আণবিক পাম্প ইত্যাদি সহ
চাপ সনাক্তকরণ সিস্টেমটি রিয়েল টাইমে ভ্যাকুয়াম চেম্বারে চাপ সনাক্ত করতে পারে এবং ডেটা অনুসারে এটি সামঞ্জস্য করতে পারে। ফাঁস হওয়ার ক্ষেত্রে, দ্রুত একটি শূন্যতা তৈরি করতে একটি গ্যাস ব্যাকআপ সিস্টেম ব্যবহার করা যেতে পারে। অ্যান্টি-ফুটো সিস্টেম ফুটো হওয়ার ঘটনা যেমন প্রতিরোধ করতে পারে, যেমন সরঞ্জামের দিক এবং নিষ্কাশন পাইপলাইনের সরঞ্জামের পাশের সিলিং, ভাল্বের সমাপ্তি এবং খোলার ইত্যাদি ইত্যাদি
2। আয়ন উত্স
আয়ন উত্স হ'ল আয়ন প্লেটিং সরঞ্জামগুলির অংশ যা আয়ন মরীচি উত্পন্ন করে। আয়ন উত্স দুটি বিভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে: বাল্ক উত্স এবং লেপ উত্স। বাল্ক উত্সগুলি ইউনিফর্ম আয়ন বিম তৈরি করে, অন্যদিকে লেপ উত্সগুলি নির্দিষ্ট উপকরণগুলির পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়। একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারে, আয়ন প্রজন্ম সাধারণত প্লাজমা উত্তেজিত স্রাব ব্যবহার করে অর্জন করা হয়। প্লাজমা দ্বারা প্ররোচিত স্রাবগুলির মধ্যে আর্ক স্রাব, ডিসি স্রাব এবং রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি স্রাব অন্তর্ভুক্ত।
আয়ন উত্সটি সাধারণত একটি সেরিয়াম ইলেক্ট্রোড, একটি অ্যানোড, একটি আয়ন উত্স চেম্বার এবং একটি আবরণ উত্স চেম্বার দ্বারা গঠিত। এর মধ্যে, আয়ন উত্স চেম্বারটি আয়ন দেহের প্রধান সংস্থা এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারে আয়নগুলি উত্পন্ন হয়। লেপ সোর্স চেম্বারটি সাধারণত একটি শক্ত লক্ষ্য রাখে এবং আয়ন মরীচি একটি পাতলা ফিল্ম প্রস্তুত করার জন্য একটি প্রতিক্রিয়া তৈরি করার লক্ষ্যে বোমা ফেলেছিল।
3। লক্ষ্য
লক্ষ্যটি হ'ল আয়ন প্লেটিং সরঞ্জামগুলিতে পাতলা ছায়াছবি গঠনের উপাদান ভিত্তি। লক্ষ্য উপকরণগুলি বিভিন্ন উপকরণ হতে পারে যেমন ধাতু, অক্সাইড, নাইট্রাইডস, কার্বাইডস ইত্যাদি The লক্ষ্যটি রাসায়নিকভাবে একটি পাতলা ফিল্ম গঠনের জন্য আয়নগুলির সাথে বোমা হামলা দ্বারা প্রতিক্রিয়া জানায়। আয়ন প্লেটিং সরঞ্জামগুলি লক্ষ্যটির অকাল পরিধান এড়াতে সাধারণত একটি লক্ষ্য স্যুইচিং প্রক্রিয়া গ্রহণ করে।
একটি পাতলা ফিল্ম প্রস্তুত করার সময়, লক্ষ্যটি একটি আয়ন মরীচি দ্বারা বোমাবর্ষণ করা হবে, যার ফলে পৃষ্ঠের অণুগুলি ধীরে ধীরে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠের একটি পাতলা ফিল্মে ধীরে ধীরে অস্থির হয়ে ওঠে। যেহেতু আয়নগুলি শারীরিক জারণ-হ্রাস প্রতিক্রিয়া তৈরি করতে পারে, তাই পাতলা ছায়াছবি প্রস্তুত করার সময় রাসায়নিক বিক্রিয়া প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ করতে অক্সিজেন এবং নাইট্রোজেনের মতো গ্যাসগুলি আয়ন মরীচিগুলিতেও যুক্ত করা যেতে পারে।
সংক্ষিপ্তসার
ভ্যাকুয়াম আয়ন প্লেটিং সরঞ্জাম হ'ল এক ধরণের সরঞ্জাম যা আয়ন প্রতিক্রিয়ার মাধ্যমে মোয়ার গঠন করে। এর কার্যনির্বাহী নীতিটি মূলত ভ্যাকুয়াম সিস্টেম, আয়ন উত্স এবং লক্ষ্য অন্তর্ভুক্ত। আয়ন উত্স একটি আয়ন মরীচি উত্পন্ন করে, এটি একটি নির্দিষ্ট গতিতে ত্বরান্বিত করে এবং তারপরে লক্ষ্যটির রাসায়নিক বিক্রিয়াটির মাধ্যমে স্তরটির পৃষ্ঠের উপর একটি পাতলা ফিল্ম গঠন করে। আয়ন মরীচি এবং লক্ষ্য উপাদানগুলির মধ্যে প্রতিক্রিয়া প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ করে, বিভিন্ন রাসায়নিক বিক্রিয়া পাতলা ছায়াছবি প্রস্তুত করতে ব্যবহার করা যেতে পারে।