ভ্যাকুয়াম লেপউচ্চমানের পাতলা-ফিল্ম উপকরণ তৈরিতে ব্যবহৃত একটি প্রক্রিয়া। এটি ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে একটি স্তরটির পৃষ্ঠের উপর তাপীয়ভাবে বাষ্পীভবন বা জৈব বা অজৈব উপকরণগুলিকে স্পটারিং করে পাতলা ছায়াছবি তৈরি করে। এই নিবন্ধটি বিশদভাবে ভ্যাকুয়াম লেপ বাস্তবায়নের প্রবর্তন করবে।
ভ্যাকুয়াম লেপ প্রক্রিয়াটিতে নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে:
1। সঠিক স্তর এবং উপাদান চয়ন করুন
সঠিক সাবস্ট্রেট এবং উপাদান নির্বাচন করা ভ্যাকুয়াম লেপের প্রথম পদক্ষেপ। স্তরটি গ্লাস, প্লাস্টিক, ধাতু বা অন্যান্য ন্যানোম্যাটরিয়াল হতে পারে। উপকরণগুলি জৈব বা অজৈব হতে পারে যেমন ধাতু, অর্ধপরিবাহী, অক্সাইড বা নাইট্রাইড।
2। ভ্যাকুয়াম লেপ সিস্টেমটি লোড করুন
দ্বিতীয় পদক্ষেপটি হ'ল ভ্যাকুয়াম লেপ সিস্টেমে সাবস্ট্রেট এবং উপকরণগুলি লোড করা। ভ্যাকুয়াম লেপ সিস্টেমে একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বার, একটি ধাতব বাষ্পীভবন, একটি স্পটার এবং একটি নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশ বজায় রাখতে ব্যবহৃত একটি বদ্ধ স্থান, ধাতব বাষ্পীভবনকারী এবং স্পটারগুলি হ'ল ডিভাইসগুলি যা সাবস্ট্রেটে বাষ্পীভূত বা স্পটার উপকরণগুলির জন্য ব্যবহৃত হয় এবং নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থাটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশ এবং উপাদান বাষ্পীভবন বা স্পটারিং গতি নিরীক্ষণ এবং সামঞ্জস্য করতে ব্যবহৃত হয়।
3 .. ভ্যাকুয়াম
উপাদান এবং সাবস্ট্রেট লোড করার পরে, ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি সরিয়ে নেওয়া উচিত। ভ্যাকুয়ামিং একটি খুব গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপ, কারণ নিম্নচাপ এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা পরিবেশ বজায় রাখা ঝিল্লির মানের গ্যারান্টি দিতে পারে। ভ্যাকুয়াম পরিবেশটি সাধারণত গ্যাসের অণু এবং অন্যান্য দূষণকারীদের বাদ দিতে 10^-6 এমবিএআর এর নীচে থাকে।
4 .. উপাদান বাষ্পীভবন বা sputtering
যখন ভ্যাকুয়াম পরিবেশটি কাঙ্ক্ষিত চাপে পৌঁছে যায়, তখন উপাদানটি বাষ্পীভূত বা সাবস্ট্রেটের উপরে ছড়িয়ে দেওয়া যায়। উপাদান বাষ্পীভবনের দুটি পদ্ধতি রয়েছে: তাপীয় বাষ্পীভবন এবং বৈদ্যুতিন বিম বাষ্পীভবন। স্পটারিংয়ের দুটি পদ্ধতিও রয়েছে: চৌম্বকীয় স্পটারিং এবং আর্ক স্পটারিং। যে কোনও পদ্ধতি ব্যবহার করা হয়, উপাদান বাষ্পীভবন বা স্পটারিং হার এবং ফিল্মের বেধ নিয়ন্ত্রণ করা দরকার।
5 .. মাল্টিলেয়ার ফিল্ম তৈরি করুন
একবার একক-স্তর ঝিল্লি বানোয়াট হয়ে গেলে, একাধিক স্তর একসাথে একটি সংমিশ্রণ তৈরি করতে স্ট্যাক করা যায়। বিভিন্ন উপকরণ এবং জমার প্রক্রিয়া ব্যবহার করা যেতে পারে যেমন বিকল্প জমা, মাল্টি-বন্দুক উপাদান সহ-ডিপোজিশন এবং জোনেড ডিপোজিশন।
6 .. পরীক্ষার ঝিল্লি মানের
চূড়ান্ত পদক্ষেপটি ঝিল্লির গুণমান পরীক্ষা করা। পরীক্ষাগুলিতে বেধ, শারীরিক বৈশিষ্ট্য, অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্য এবং বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলি অন্তর্ভুক্ত থাকতে পারে। পরীক্ষার ফলাফল অনুসারে ঝিল্লি উপাদানগুলি প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে কিনা তা নির্ধারণ করুন।
সংক্ষেপে, ভ্যাকুয়াম লেপ প্রযুক্তি উচ্চমানের পাতলা ছায়াছবি অর্জনের একটি পদ্ধতি। এটি উপযুক্ত সাবস্ট্রেট এবং উপাদান নির্বাচন করতে হবে, ভ্যাকুয়াম লেপ সিস্টেমটি লোড করতে হবে, ভ্যাকুয়ামাইজ করা, উপাদান বাষ্পীভবন বা স্পটার, মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম তৈরি করতে এবং ফিল্মের গুণমান পরীক্ষা করতে হবে। ভ্যাকুয়াম লেপ প্রযুক্তি ইলেক্ট্রনিক্স, অপটিক্স, চিকিত্সা এবং শক্তি ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে।